一、 概述

氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣體，為了提高硅晶體的質(zhì)量，如何選用較高純度的氬氣，是制作硅晶體的一個(gè)議題。通過(guò)對(duì)本裝置的使用，氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時(shí)，水分也小于1ppm時(shí)，制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命并能達(dá)到要求，贏得客戶(hù)的滿(mǎn)意和市場(chǎng)的需求。

由于一般液氬汽化后未經(jīng)過(guò)純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時(shí)氣體供應(yīng)商提供的氬氣超過(guò)了此范圍，使用氬氣的客戶(hù)不知道其質(zhì)量，所以往往給生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質(zhì)量如何，只要經(jīng)過(guò)純化裝置的處理后，進(jìn)入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。

一般氧含量小于0.5ppm，水分小于1ppm，這樣穩(wěn)定的氬氣對(duì)生產(chǎn)晶體的質(zhì)量是有..的。

二、 關(guān)于氬氣純化的方法

..種

直接脫氧法。就是使用活性金屬與氬氣中的氧氣進(jìn)行反應(yīng)，消化掉氬氣中的氧氣，從而達(dá)到脫氧的目的，經(jīng)過(guò)分子篩吸收掉氬氣中的水份，使氬氣的含水量小于1ppm。

第二種

是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后，氬氣的純度可達(dá)到6個(gè)九，這種保護(hù)氣體更適用于制作高純度的半導(dǎo)體的單晶硅。

利用吸氣劑純化后氬氣的純度：

O2≤0.2ppm

H2≤0.5ppm

N2≤1ppm

CO+CO2≤0.5ppm

CH4≤0.5ppm

水份≤1ppm

..種方法設(shè)備投資小，設(shè)備中脫氧劑的使用壽命一般大于四年。

第二種方法設(shè)備純化純度高但投資相對(duì)較大，吸氣劑使用壽命為兩年。

★ ：本公司也可根據(jù)客戶(hù)要求，直接做高壓的，這樣就可省掉使用模壓機(jī)增壓工序。

還可根據(jù)客戶(hù)要求，配備分析儀在線(xiàn)時(shí)時(shí)檢測(cè)設(shè)備中氣體純度。

三、氬氣用途

高純氬氣用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣。

主要用途：歡迎新老用戶(hù)選擇我公司產(chǎn)品：氬氣凈化機(jī)，氬氣凈化器，高純氬氣凈化，高純氬氣凈化設(shè)備，高純氬氣純化設(shè)備，高純氬氣純化裝置，YAC系列氬氣凈化設(shè)備，全自動(dòng)氬氣純化設(shè)備，大型氬氣凈化設(shè)備，硅材料行業(yè)用氬氣凈化設(shè)備，硅材料用除氧、除水氬氣純化裝置,氣站專(zhuān)用氬氣凈化設(shè)備，氣站專(zhuān)用氬氣純化器，氣站用高純氬設(shè)備,單晶硅行業(yè)用氬氣除氧、干燥設(shè)備，多晶硅行業(yè)用氬氣除氧、干燥設(shè)備,高純氬氣提純?cè)O(shè)備，氬氣提純機(jī),高純氬氣過(guò)濾器。

陜西迪凱機(jī)電科技有限公司是專(zhuān)業(yè)從事高壓氣源系統(tǒng)及回收系統(tǒng)研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有“氦氣回收純化系統(tǒng)”等多項(xiàng)..。公司的營(yíng)銷(xiāo)理念是“服務(wù)..、用戶(hù)至上”。公司長(zhǎng)期致力于高壓氣源系統(tǒng)集成、惰性稀有氣體回收、測(cè)試控制系統(tǒng)集成、氣體工程檢測(cè)的數(shù)據(jù)采集、分析處理、綜合應(yīng)用的技術(shù)研究及服務(wù)。長(zhǎng)期市場(chǎng)服務(wù)中，更加..并提升了公司系統(tǒng)集成能力，如復(fù)雜高壓、**壓控制系統(tǒng)，資源性及稀有氣體（氦氣、氬氣、氙氣等）回收，尤其在低溫超導(dǎo)、激光成型、粉末冶金、硬質(zhì)合金、增材制造等領(lǐng)域的氦氬氣回收，能夠極大的節(jié)省運(yùn)營(yíng)成本，提高生產(chǎn)效率。

氣體回收系統(tǒng)是對(duì)生產(chǎn)中的廢氣，如氫氣、氬氣和氦氣進(jìn)行回收再利用，采用該系統(tǒng)是一項(xiàng)降低生產(chǎn)成本，節(jié)約能源 ，提高經(jīng)濟(jì)效益的有力措施，下面，迪凱機(jī)電小編帶大家一起來(lái)了解氣體回收系統(tǒng)中的氫氣回收系統(tǒng)、 氬氣回收系統(tǒng)及氦氣回收系統(tǒng)。

氫氣回收系統(tǒng)主要用于鎢鉬行業(yè)還原工序排出的廢氫，收集廢氫后進(jìn)入預(yù)處理系統(tǒng)，經(jīng)增壓后由冷卻器冷卻，汽水他離器分離水份，然后進(jìn)入純化裝置主體部分，對(duì)氫氣進(jìn)行精制處理，經(jīng)處理后的氫氣中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm，N2≤900ppm。氫氣回收裝置分為中壓回收和常壓回收，中壓回收氫氣的增壓由壓縮機(jī)進(jìn)行，而常壓回收則由羅茨風(fēng)機(jī)來(lái)完成。

氬氣回收系統(tǒng)是對(duì)區(qū)熔單晶硅爐排出的氬氣進(jìn)行回收處理，通過(guò)膜片壓縮機(jī)穩(wěn)壓器進(jìn)入氬氣純化裝置主體部分進(jìn)行純化處理，使氬氣純度達(dá)到99.999%以上。

氦氣回收系統(tǒng)一般按照用戶(hù)要求，以非標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)提供，其純度為99.999%以上。

陜西迪凱機(jī)電科技有限公司是一家專(zhuān)注從事氬、氦氣等惰性稀有氣體回收系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)， 致力于成為一家值得信賴(lài)和尊敬的惰性